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  可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准;

  也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

  纳米级角度标准物质的研制成功,实现了纳米测量领域的扁平化计量,避免传统逐级量值传递方式造成的误差放大,能够通过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场,为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。

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  本报记者 朱仁荣 【编辑:秦穆公 】

  

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