责任编辑：卢昱君
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其中，在半导体行业中，现有高k材料主要是锆(Zr)，但铪更 ♒适合微加工 ♏，且稳定性更突出。铪氧化物薄膜是很可能用于COMS ⏲和下一代DRAM中的候选高介电常数(高k)绝缘层材料。
本报记者 毛晋 【编辑:屈修 】
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